Mirrorganize Optical Technology (Foshan) Co.,Ltd

Mirrorganize Optical Technology (Foshan) Co.,Ltd

การผลิตกระจกทรงกลมขนาด 720 มม.

2024 12/24

manufacturing process of silicon carbide asph
1. กระบวนการมิลลิ่ง: การกัดด้านหลังของกระจกสามารถทำได้บนศูนย์เครื่องจักรกลซีเอ็นซีสามแกนทั่วไปในขณะที่การกัดพื้นผิวกระจกต้องใช้สี่แกนหรือแม้แต่ศูนย์เครื่องจักรกลห้าแกน หากมีการใช้ศูนย์เครื่องจักรกลห้าแกนที่มีความแม่นยำสูงและเลือกเครื่องมือการบดที่เหมาะสมความแม่นยำในการกัดพื้นผิวกระจกภายในเส้นผ่านศูนย์กลางหนึ่งเมตรสามารถถึง 10um
milling process of SiC aspheric mirror
2. กระบวนการกรู: การบดส่วนใหญ่จะลบร่องรอยเครื่องมือและชั้นความเสียหายใต้ผิวดินที่เหลืออยู่โดยการกัดและปรับปรุงความขรุขระของพื้นผิวของกระจก อุปกรณ์บดล่วงหน้าส่วนใหญ่ใช้หัวบดขนาดเล็ก CNC ห้าแกนและในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมาหัวบดขนาดเล็กของหุ่นยนต์ CNC ได้ถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลาย การตรวจจับใช้ระบบสามพิกัดเพื่อรวบรวมจุดพิกัดพื้นผิวของกระจกและข้อผิดพลาดรูปร่างพื้นผิวที่แท้จริงสามารถรับได้โดยการปรับพื้นผิวที่เป็นทรงอากาศและพื้นผิวที่เป็นทรงกลมในอุดมคติโดยขึ้นอยู่กับพิกัดของแต่ละจุดบนพื้นผิวกระจก หลังจากความขรุขระของพื้นผิวกระจกเป็นไปตามข้อกำหนดของกระบวนการบดความแม่นยำของพื้นผิวของไมครอนหลายตัวสามารถเข้าสู่กระบวนการต่อไปได้
Grinding of large aperture SiC Mirror

3. การขัด Rough: การขัดหยาบช่วยเพิ่มความขรุขระของพื้นผิวและความแม่นยำของพื้นผิวของกระจกเงาที่มีขนาดใหญ่ขึ้น หัวเจียรขนาดเล็กของ CNC ยังคงใช้สำหรับการขัดหยาบและการตกแต่ง MRF-magnetorheological ระยะหลังก็มีส่วนร่วมเช่นกัน หลังจากการขัดเงาพื้นผิวกระจกเข้าสู่ระยะมาตรวิทยาสัญญาณรบกวนและสามารถเข้าสู่ขั้นตอนการเคลือบ Si หลังจากค่า RMS ความแม่นยำของพื้นผิวดีกว่า 1/10 λ

4. การเคลือบผิว: วัสดุที่ว่างเปล่าของกระจกของหลอดลมขนาดใหญ่ที่มีรูรับแสง sic มักใช้วัสดุ SIC ที่มีปฏิกิริยาตอบโต้ซึ่งมีความหนาแน่นต่ำกว่าเล็กน้อยเมื่อเทียบกับวัสดุ SIC ที่มีแรงดัน เพื่อปรับปรุงการสะท้อนแสงของกระจกทรงอัจฉริยะที่มีรูรับแสงขนาดใหญ่ขึ้นชั้นของ Si จะถูกชุบบนพื้นผิวกระจกเพื่อปรับปรุงความหนาแน่นของพื้นผิว

5. การขัดไฟระยะไกล: หลังจากการดัดแปลงกระจกเงาที่มีขนาดใหญ่ขึ้นจะเข้าสู่ขั้นตอนการขัดอย่างละเอียด CNC หัวบดขนาดเล็กการขัดรอบความเครียดและการตกแต่ง MRF-magnetorheological มักจะใช้ในระยะเริ่มต้นของการขัดละเอียดเพื่อลบชั้นที่ค่อนข้างหลวมบนพื้นผิวที่ดัดแปลง ต่อมามีการใช้หัวบดขนาดเล็ก CNC พร้อมกับการหาลำแสงไอออนเพื่อปรับแต่งความแม่นยำของพื้นผิวตามข้อกำหนดการออกแบบ ในปัจจุบันความแม่นยำของพื้นผิวของกระจกเงา Aperture Sic ขนาดใหญ่สามารถประมวลผลได้กับค่า RMS แบบเต็มเส้นผ่านศูนย์กลางที่ดีกว่า 1/60 λหรือดีกว่า

หลังจากการสะสมทางเทคนิคมาหลายปีปัจจุบัน MG-Optics มีความสามารถในการพัฒนากระบวนการทั้งหมดของกระจก Aperture Aperture SiC ชุดของเส้นผ่านศูนย์กลางขนาดใหญ่ 720 มม. กระจกขนาดใหญ่ Aperture Sic Aspherical เสร็จสมบูรณ์ด้วยค่า RMS ที่มีความแม่นยำสูงกว่าพื้นผิวที่ดีกว่า 1/60 λ

test of 720mm SiC mirror