W tym artykule zaproponowano schemat wykrywania precyzyjnego pomiaru powierzchniowych o promieniu wielkiego krzywizny. Schemat łączy CGH (hologram generowany przez komputer) i soczewki pomocnicze, aby osiągnąć pomiar zakłóceń kompensacji zerowej poprzez pomiar kompensacji hybrydowej, jednocześnie skracając długość ścieżki optycznej wykrywania i poprawę dokładności pomiaru.
Hybrydowy model kompensacji CGH i soczewek pomocniczych
W konstrukcji ścieżki optycznej soczewki pomocnicze służy do skrócenia długości ścieżki optycznej wykrywalności, dzięki czemu promień krzywizny tylnej powierzchni soczewki zbliżał się do centralnego promienia krzywizny nieferycznej powierzchni. CGH jest zaprojektowany na płaszczyźnie ogniskowej interferometru, wykorzystując jego elastyczność w celu kompensacji aberracji resztkowych, osiągając w ten sposób pomiar kompensacji zerowej pozycji dla nieferycznych luster długości. Ta metoda zmniejsza długość ścieżki optycznej wykrywalnej do 1/8 nieferycznego promienia krzywizny, z dokładnością pomiaru lepszą niż RMS λ/100 (λ = 632,8 nm).
Hybrydowa kompensacja ścieżka optyczna z CGH i soczewkami pomocniczymi
Precyzyjny model wyrównania systemu optycznego
Aby zapewnić dokładność pomiaru, konieczne jest precyzyjne wyrównanie każdego komponentu optycznego w ścieżce optycznej (interferometr, CGH, soczewki pomocnicze i nieferyczne lustro do zmierzenia).
CGH jest zaprojektowany z pięcioma obszarami, aby pomóc w wyrównaniu:
Nieferyczny obszar wykrywania: do pomiaru nieferycznego lustra.
CGH i obszar wyrównania obiektywu pomocniczego: do wyrównania soczewki pomocniczej.
CGH i obszar wyrównania interferometru: do wyrównania interferometru.
Obszar odniesienia lustra: w celu wyświetlania celowników na krawędź nieferycznej powierzchni.
Obszar odniesienia obiektywu: do wyświetlania celowników na krawędzi soczewki pomocniczej.
Schematyczny schemat rozkładu regionalnego CGH
Ten fragment jest wybierany z „długości ogniskowej asferycznego lustra z CGH i soczewkami pomocniczymi (zaproszone)” w podczerwieni i inżynieria laserowa