Artikel ini mencadangkan skim pengesanan ketepatan tinggi untuk pengukuran permukaan permukaan kelengkungan besar permukaan asfeik. Skim ini menggabungkan CGH (hologram yang dihasilkan komputer) dan kanta tambahan untuk mencapai pengukuran gangguan pampasan kedudukan sifar melalui pengukuran pampasan hibrid, sambil memendekkan panjang jalur optik pengesanan dan meningkatkan ketepatan pengukuran.
Model pampasan hibrid CGH dan kanta tambahan
Dalam reka bentuk laluan optik, lensa tambahan digunakan untuk memendekkan panjang laluan optik pengesanan, menjadikan radius kelengkungan permukaan belakang lensa dekat dengan radius kelengkungan pusat permukaan bukan sfera. CGH direka pada satah fokus interferometer, menggunakan fleksibiliti untuk mengimbangi penyimpangan sisa, dengan itu mencapai pengukuran pampasan kedudukan sifar untuk panjang fokus panjang fokus cermin. Kaedah ini mengurangkan panjang jalur optik pengesanan ke dalam 1/8 radius kelengkungan bukan sfera, dengan ketepatan pengukuran lebih baik daripada RMS λ/100 (λ = 632.8nm).
Laluan optik pampasan hibrid dengan kanta CGH dan tambahan
Model penjajaran tepat sistem optik
Untuk memastikan ketepatan pengukuran, adalah perlu untuk menyelaraskan setiap komponen optik dalam laluan optik (interferometer, CGH, lensa tambahan, dan cermin bukan sfera diukur).
CGH direka dengan lima bidang untuk membantu penjajaran:
Kawasan pengesanan bukan sfera: untuk mengukur cermin bukan sfera.
Kawasan penjajaran kanta CGH dan tambahan: untuk menyelaraskan kanta tambahan.
Kawasan penjajaran CGH dan interferometer: untuk menyelaraskan interferometer.
Kawasan rujukan cermin: untuk memproyeksikan penyebaran ke tepi permukaan bukan sfera.
Kawasan rujukan kanta: untuk memproyeksikan penyebaran ke tepi lensa tambahan.
Gambarajah skematik pengedaran serantau CGH
Petikan ini dipilih dari ujian cermin aspherical panjang panjang dengan CGH dan kanta tambahan (dijemput) "jurnal inframerah dan kejuruteraan laser