Questo articolo propone uno schema di rilevamento ad alta precisione per la misurazione superficiale di grandi superfici asfeiche del raggio di curvatura. Lo schema combina le lenti CGH (ologramma generato al computer) e le lenti ausiliarie per ottenere la misurazione dell'interferenza di compensazione zero attraverso la misurazione della compensazione ibrida, accorciando al contempo la lunghezza del percorso ottico di rilevamento e migliorando l'accuratezza della misurazione.
Modello di compensazione ibrida di lenti CGH e ausiliari
Nel design del percorso ottico, viene utilizzata una lente ausiliaria per abbreviare la lunghezza del percorso ottico di rilevamento, rendendo il raggio di curvatura della superficie posteriore della lente vicino al raggio di curvatura centrale della superficie non sferica. Il CGH è progettato sul piano focale dell'interferometro, utilizzando la sua flessibilità per compensare le aberrazioni residue, ottenendo così la misurazione della compensazione della posizione zero per specchi non sferici a lunghezza focale a lungo. Questo metodo riduce la lunghezza del percorso ottico di rilevamento entro 1/8 del raggio di curvatura non sferico, con una precisione di misurazione migliore di RMS λ/100 (λ = 632,8 nm).
Percorso ottico di compensazione ibrida con lenti CGH e ausiliarie
Modello di allineamento preciso del sistema ottico
Per garantire l'accuratezza della misurazione, è necessario allineare con precisione ciascun componente ottico nel percorso ottico (interferometro, CGH, lente ausiliaria e lo specchio non sferico da misurare).
Il CGH è progettato con cinque aree per aiutare in allineamento:
Area di rilevazione non sferica: per misurare lo specchio non sferico.
Area di allineamento dell'obiettivo CGH e ausiliario: per allineare l'obiettivo ausiliario.
Area di allineamento CGH e interferometro: per allineare l'interferometro.
Area di riferimento dello specchio: per proiettare il mirino sul bordo della superficie non sferica.
Area di riferimento dell'obiettivo: per proiettare il mirino sul bordo della lente ausiliaria.
Diagramma schematico della distribuzione regionale CGH
Questo passaggio è selezionato da "test mirror asferici a lungo focale con lenti CGH e lenti ausiliarie (invitato)" a infrarossi e ingegneria laser "