Mirrorganize Optical Technology (Foshan) Co.,Ltd

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Große asphärische Spiegeltests mit CGH- und Hilfslinsen

2025 01/03

Derzeit hat der Krümmungsradius des Primärspiegels in einigen optischen Teleskopen mit großer Aferturen die Reihenfolge von Zehn Metern erreicht. Wenn die Oberfläche des Spiegels einfach durch CGH getestet wird, ist die Länge des optischen Tests nicht niedriger als die Länge seines Krümmungsradius. Aufgrund von Faktoren wie Standortgröße und Umgebungsluftstromstörung ist es schwierig, unter diesen Bedingungen eine hohe Präzisionsmessung der Spiegeloberfläche zu erreichen. Um das Problem der hochpräzisen Oberflächenprüfung des optischen Spiegels mit großer Apertur zu lösen, wird eine Hybridkompensationsmethode vorgeschlagen.

Dieser Artikel schlägt ein hochpräzisetztes Nachweisschema für die Oberflächenmessung von astrischen Oberflächen mit großem Krümmungsradius vor. Das Schema kombiniert CGH (computergeneriertes Hologramm) und Hilfslinsen, um die Messung der Interferenzmessung von Nullpositionen durch die Messung der Hybridkompensation zu erreichen, während die optische Länge der Erkennung und die Verbesserung der Messgenauigkeit verkürzt werden.

Hybridkompensationsmodell für CGH- und Hilfslinsen
Im optischen Pfadkonstruktion wird eine Hilfslinse verwendet, um die optische Länge der Nachweis zu verkürzen, wodurch der Krümmadius der hinteren Oberfläche der Linse nahe dem zentralen Krümmradius der nicht-kugelförmigen Oberfläche wird. Die CGH ist in der Fokusebene des Interferometers ausgelegt und nutzt seine Flexibilität, um restliche Aberrationen zu kompensieren und damit die Messung der nicht-kugelförmigen Spiegel mit langer Brennweite nicht zu einer Kompensationsmessung der Position zu erreichen. Diese Methode reduziert die optische Länge der Nachweis auf 1/8 des nicht-shherischen Krümmungsradius, wobei eine Messgenauigkeit besser als RMS λ/100 (λ = 632,8 Nm) ist.

Hybrid compensation optical path with CGH and

Hybridkompensation optischer Pfad mit CGH- und Hilfslinsen

Optisches System präzises Ausrichtungsmodell
Um die Genauigkeit der Messung sicherzustellen, ist es erforderlich, jede optische Komponente im optischen Pfad genau auszurichten (Interferometer, CGH, Hilfslinse und der nicht kugelförmige Spiegel zu messen).
Die CGH ist mit fünf Bereichen ausgelegt, um die Ausrichtung zu unterstützen:

Nicht-kugelförmiger Nachweisbereich: Zur Messung des nicht kugelförmigen Spiegels.

CGH- und Hilfslinsenausrichtungsbereich: Auseinander ausgerichtet, um die Hilfslinse auszurichten.

CGH- und Interferometer -Ausrichtungsbereich: zum Ausrichten des Interferometers.

Spiegelreferenzbereich: Für das Projekt von Fadenkreuz an den Rand der nicht-kugelförmigen Oberfläche projizieren.

Objektivreferenzgebiet: Für das Projekt über Fadenkreuz an den Rand der Hilfslinse projiziert.

Schematic diagram of CGH regional distributio

Schematische Diagramm der regionalen Verteilung von CGH

Diese Passage wird aus "Langstudal Länge Aspherical Spiegel -Tests mit CGH- und Hilfslinsen (eingeladen)" Journal Infrarot und Laser Engineering ausgewählt