Ultra hafif tarama aynasının arka yapısı
Ayna gövdesi silikon karbürden yapılmış ve destekleyici yapı indiyum çelikten yapılmıştır. Tarama aynası düzeneğinin destek sertliği ve yüzey doğruluğu, sonlu eleman analizi ile simüle edilir ve analiz edilir ve gerçek testlerle doğrulanır.
Tarama aynası düzeneğinin sonlu eleman modeli
Sonuçlar, tarama ayna şekli hatasının maksimum kök ortalama kare (rms) değerinin 9.705nm, gerçek test sonucu 10.125nm, hata% 4 olduğunu ve RMS değerinin 12.6nm'den az olması gerekliliğini karşıladığını göstermektedir. Her yönde yerçekimi ve şaft güdümlü tork.
Yüzey Doğruluk Testi Sonucu
Bileşenin birinci dereceden doğal frekansı, sertlik gereksinimlerini karşılayan 302.25Hz idi. Sonuçlar, önerilen yöntemin makul ve etkili olduğunu göstermektedir, bu da ultra ışıklı yapının ve yapısal sertlik ve optik yüzey doğruluğunun bir seferde garanti edilmesinin zor olduğu sorunu çözmektedir.
Ayna Montajı Tarama
Koni kollu ve esnek menteşe ilkesine dayanarak, entegre arka desteğe sahip bir tarama ayna düzeneği önerilmektedir. Esnek bağlantının ana parametreleri, esnek destek yapısının parametre optimizasyonu için teknik referans sağlayan sayısal simülasyon ve yinelemeli hesaplama ile belirlenir.
