โครงสร้างด้านหลังของกระจกสแกนน้ำหนักเบาพิเศษ
ตัวกระจกทำจากซิลิกอนคาร์ไบด์และโครงสร้างสนับสนุนทำจากเหล็กอินเดียม ความแข็งรองรับและความแม่นยำของพื้นผิวของชุดกระจกสแกนจะถูกจำลองและวิเคราะห์โดยการวิเคราะห์องค์ประกอบ จำกัด และตรวจสอบโดยการทดสอบจริง
โมเดลองค์ประกอบ จำกัด ของชุดกระจกสแกน
ผลลัพธ์แสดงให้เห็นว่าค่าสูงสุดของรูทค่าเฉลี่ยสแควร์ (RMS) ของข้อผิดพลาดรูปร่างกระจกสแกนคือ 9.705nm ผลการทดสอบจริง 10.125nm ข้อผิดพลาดคือ 4% และตรงตามข้อกำหนดว่าค่า RMS ควรน้อยกว่า 12.6nm ใน กรณีของแรงโน้มถ่วงในทุกทิศทางและแรงบิดของเพลาขับ
ผลการทดสอบความแม่นยำของพื้นผิว
ความถี่ธรรมชาติอันดับแรกของส่วนประกอบคือ 302.25Hz ซึ่งตรงตามข้อกำหนดความแข็ง ผลการวิจัยพบว่าวิธีการที่เสนอนั้นสมเหตุสมผลและมีประสิทธิภาพซึ่งแก้ปัญหาที่โครงสร้างน้ำหนักเบาพิเศษและความแข็งของโครงสร้างและความแม่นยำของพื้นผิวทางแสงนั้นยากที่จะรับประกันได้ในครั้งเดียว
สแกนกระจกชุด
ขึ้นอยู่กับหลักการของรูปกรวยแขนและบานพับที่ยืดหยุ่นได้มีการเสนอชุดประกอบกระจกสแกนที่มีการสนับสนุนด้านหลังแบบบูรณาการ พารามิเตอร์หลักของลิงก์ที่ยืดหยุ่นจะถูกกำหนดผ่านการจำลองเชิงตัวเลขและการคำนวณซ้ำซึ่งให้การอ้างอิงทางเทคนิคสำหรับการเพิ่มประสิทธิภาพพารามิเตอร์ของโครงสร้างการสนับสนุนที่ยืดหยุ่น
