Reka bentuk perhimpunan cermin pengimbasan ultra-ringan

2024 12/24

Untuk merealisasikan ringan (165mm × 96mm) perhimpunan cermin pengimbasan segi empat tepat dan memastikan ketepatan permukaan cermin dan kekakuan sokongan perhimpunan, kaedah sokongan belakang yang dibangunkan oleh Mg-optik dengan penyepaduan cone-lleeve dan lengan-lengan dan lengan kerucut dan lengan kon dan lengan dan lengan kon dan lantang dan lengan kon dan lengan dan lengan kon dan lengan dan lengan kon dan lengan dan lengan kon dan lantang dan lengan kon dan lengan dan lengan kon dan lantang dan lengan kon dan lengan kon dan lengan dan lengan kon dan lengan dan lengan kon dan lantang dan lengan kon dan lengan dan lengan kon dan lantang dan lengan kon dan lengan dan lengan kon dan lleeve dan lleeve dan lleeve dan lleeve dan lengan kon dan lleeve dan lleeve dan lleeve dan lleeve dan lleeve dan lleeve dan lleeve dan lleeve dan lleeve dan lleeve dan lleeve dan lleeve dan con-lleeve dan Sendi fleksibel telah dicadangkan, dan berat perhimpunan cermin yang direka dengan kaedah ini kurang daripada 0.5kg.

Back structure of the ultra-lightweight scann

Struktur belakang cermin pengimbasan ultra ringan

Badan cermin diperbuat daripada karbida silikon dan struktur sokongan diperbuat daripada keluli indium. Kekakuan sokongan dan ketepatan permukaan perhimpunan cermin pengimbasan disimulasikan dan dianalisis oleh analisis unsur terhingga dan disahkan oleh ujian sebenar.

Finite element model of the scanning mirror a

Model elemen terhingga perhimpunan cermin pengimbasan

Hasilnya menunjukkan bahawa nilai maksimum min (RMS) nilai ralat bentuk cermin pengimbasan adalah 9.705nm, hasil ujian sebenar 10.125nm, ralat adalah 4% dan memenuhi keperluan bahawa nilai RMS harus kurang dari 12.6nm dalam Kes graviti di semua arah dan tork yang didorong oleh aci.

Hasil ujian ketepatan permukaan

Kekerapan semulajadi pesanan pertama adalah 302.25Hz, yang memenuhi keperluan kekakuan. Keputusan menunjukkan bahawa kaedah yang dicadangkan adalah munasabah dan berkesan, yang menyelesaikan masalah yang struktur ultra-ringan dan ketepatan struktur dan ketepatan permukaan optik sukar untuk menjamin pada satu masa.

Imbasan perhimpunan cermin

Berdasarkan prinsip lengan kerucut dan engsel fleksibel, perhimpunan cermin pengimbasan dengan sokongan belakang bersepadu dicadangkan. Parameter utama pautan fleksibel ditentukan melalui simulasi berangka dan pengiraan berulang, yang menyediakan rujukan teknikal untuk pengoptimuman parameter struktur sokongan fleksibel.

Sebelumnya:Fabrikasi CGH dan ujian untuk cermin aspherik aluminium