光学成分のZygoレーザー干渉計測定メトリック：
1。PV（ピークからバレー）
定義：表面上の最高点と最低点の間の垂直距離。
物理的意味：最大の局所誤差を反映し、機械加工精度を直接示します。
注：PVは、外れ値（例、傷や欠陥）に敏感であり、他のメトリックとともに評価する必要があります。
典型的な要件：高精度光学（例えば、レーザーミラー）は、多くの場合、PV <λ/10（λ= 632.8 nm）を必要とします。
2。RMS（ルート平均四角）
定義：すべての表面点と理想的な形状の間の偏差のルート平均平方根。
物理的意味：光学システムの波面歪みに直接リンクされた全体的な表面誤差の平均レベルを表します。
利点：ローカルノイズに敏感ではなく、グローバルな品質の安定した尺度を提供します。
典型的な要件：精密システム（例、望遠鏡）は、多くの場合、rms <λ/20 –λ/50を要求します。
3。ストレヒル比
定義：実際の光学システムのピーク強度の比率と理想的な回折制限システムの比率。
物理的意味：イメージングの品質を定量化します。 1に近い値は、パフォーマンスが高いことを示します。
RMSとの関係：RMSが高いほど、ストレヒル比が減少します。実証式：
strehl比≈exp[ - （2π・rms/λ）²]。
4。パワー（曲率偏差）
定義：設計された形状（球形/非球面）からの全体的な曲率の偏差。
物理的意味：機械加工による焦点距離または曲率半径のエラーを反映します。
影響：過度のパワーは、局所シフトまたは異常の増加を引き起こします。
5。乱視
定義：直交軸の不一致の曲率によって引き起こされる異常（X/Yなど）。
物理的意味：多くの場合、非対称の機械加工エラーや取り付けストレスから生じます。
視覚的な手がかり：楕円形またはサドル型の干渉フリンジ。
6。com睡
定義：軸外イメージングで彗星のような後続につながる非対称エラー。
物理的意味：通常、不均一なツールパスまたは製造中のマウントの取り付けによって引き起こされます。
一般的なシナリオ：オフ軸の光学系または大規模な紙のミラーは、com睡状態になりやすいです。
7。表面の粗さ
定義：SA（算術平均）またはSQ（RMS粗さ）として定量化された顕微鏡的不規則性。
物理的意味：散乱損失、レーザー誘発損傷のしきい値などに影響します。
測定：Zygo干渉計はしばしば白色光干渉法を使用します（たとえば、Mirauの目的）。
8。フリンジ
定義：インターフェログラムの明るい/暗いバンドの数。 1フリンジ=λ/2光学パスの差。
物理的意味：表面誤差の勾配分布を視覚化します。
アプリケーション：高密度のフリンジは、急な誤差勾配（たとえば、マシン欠陥または取り付けひずみ）を示しています。
9。Zernike多項式係数
定義：表面誤差のZernike多項式分解からの係数（例えば、焦点、乱視、球状異常）。
物理的意味：エラー構成を定量化して、プロセスの最適化をガイドします（例えば、特定の異常項の修正）。
10。エラーの適合
定義：測定データの理想的な表面への最小二乗フィッティング後の残留誤差（球状/非球面/平面）。
物理的意味：製造された形状がデザインとどれだけうまく一致しているかを示します。これは、システムレベルのパフォーマンスにとって重要です。
要約と推奨事項
ホリスティック分析：PVおよびRMSに優先順位を付けますが、異常タイプ（乱視/com睡）を分析してエラーソースを特定します。
プロセス調整：RMSが高い場合は、再編成が必要になる場合があります。ローカライズされたPVスパイクは、ツールまたは取り付けの問題を示唆しています。
アプリケーションアライメント：テーラー要件（例えば、レーザーシステムは粗さを優先し、イメージングシステムはストレハル比に焦点を当てています）。
交差検証：粗さの検証のために、相補的なツール（たとえば、プロフィロメーター、白色光干渉計）を使用します。
