Πίσω δομή του καθρέφτη σάρωσης Ultra-Lightweight
Το σώμα του καθρέφτη ήταν κατασκευασμένο από καρβίδιο πυριτίου και η δομή υποστήριξης ήταν κατασκευασμένο από χάλυβα ινδίου. Η ακαμψία υποστήριξης και η ακρίβεια της επιφάνειας του συγκροτήματος καθρέφτη σάρωσης προσομοιώνονται και αναλύονται με ανάλυση πεπερασμένων στοιχείων και επαληθεύονται με πραγματικές δοκιμές.
Μοντέλο πεπερασμένων στοιχείων της συναρμολόγησης καθρέφτη σάρωσης
Τα αποτελέσματα δείχνουν ότι η μέγιστη τιμή μέσης τετραγωνικής (RMS) του σφάλματος σχήματος καθρέφτη σάρωσης είναι 9.705nm, το πραγματικό αποτέλεσμα δοκιμής 10.125nm, το σφάλμα είναι 4% και πληροί την απαίτηση ότι η τιμή RMS πρέπει να είναι μικρότερη από 12.6nm Η περίπτωση της βαρύτητας προς όλες τις κατευθύνσεις και τη ροπή του άξονα.
Αποτέλεσμα δοκιμής ακρίβειας επιφάνειας
Η φυσική συχνότητα πρώτης τάξης του συστατικού ήταν 302.25Hz, η οποία πληρούσε τις απαιτήσεις δυσκαμψίας. Τα αποτελέσματα δείχνουν ότι η προτεινόμενη μέθοδος είναι λογική και αποτελεσματική, η οποία επιλύει το πρόβλημα που είναι δύσκολο να εγγυηθεί η δομή της δομικής δυσκαμψίας και της ακρίβειας της οπτικής επιφάνειας.
Συγκρότημα καθρέφτη σάρωσης
Με βάση την αρχή του κώνου και του εύκαμπτου μεντεσέ, προτείνεται ένα συγκρότημα καθρέφτη σάρωσης με ενσωματωμένη υποστήριξη πίσω. Οι κύριες παράμετροι του ευέλικτου συνδέσμου καθορίζονται μέσω αριθμητικής προσομοίωσης και επαναληπτικής υπολογισμού, η οποία παρέχει τεχνική αναφορά για τη βελτιστοποίηση παραμέτρων της ευέλικτης δομής υποστήριξης.
