Mirrorganize Optical Technology (Foshan) Co.,Ltd

Mirrorganize Optical Technology (Foshan) Co.,Ltd

إتقان دقة المرآة ذات الفتحة الكبيرة: تقنيات لارتفاع دقة التصوير

2025 07/03

تلعب دقة الشكل السطحية للمرايا ذات الفتحة الكبيرة دورًا مهمًا في حل التصوير. يمكن تنفيذ وسائل تقنية محددة لتعزيز دقة الشكل السطحي في مجالات التصنيع ، والقياس ، وتصميم هيكل الدعم ، وتحسين القدرة على التكيف البيئي. سيتم وضع هذه أدناه:

1. تحسين عمليات التصنيع

  • عملية اختبار الدوران القائمة على تفريغ الجاذبية: في بيئات التصنيع الأرضية ، تؤثر الجاذبية على الشكل السطحي للمرايا الختامية للمساحة الكبيرة. لتحقيق تصنيع الشكل السطحي الصفري ، يمكن إنشاء طريقة اختبار دوران عالية الدقة على أساس تفريغ الجاذبية. على سبيل المثال ، باستخدام طريقة دوران N-Step المتساوية:

    • أولاً ، توضيح مبادئها الأساسية. في حالة تصنيع محددة (على سبيل المثال ، مرآة ule ule ule 1290 مم) ، زاوية دوران التحكم الصارمة وأخطاء غريب الأطوار (خطأ الزاوية الفعلي <0.1 ° ، خطأ غريب الأطوار <0.1 مم).

    • خلال المرحلة المنخفضة الدقة ، استخدم طريقة الدوران المكونة من 3 خطوات لمعالجة نتائج الاختبار ، ودقة الشكل السريع للمرآة المتقاربة إلى 0.029λ RMS.

    • معالجة التضخيم التراكمي للأخطاء المتماثلة الناجمة عن طريقة الدوران من خلال الإزالة المستهدفة ، مما يزيد من دقة الشكل السطحي إلى 0.023 و RMS.

    • أخيرًا ، استخدم طريقة الدوران المكونة من 6 خطوات لمعالجة نتائج الاختبار وتوجيه التصنيع البصري ، وتحقيق دقة الشكل السطحي العالي. بعد إزالة خطأ التشوه الناجم عن الجاذبية ، تصل دقة الشكل السطحي إلى 0.010 and RMS ، مما يقرب من الشكل السطح الصفر في المدار في المدار.

    • تنطبق هذه الطريقة على المرايا من فئة العدادات والمساحة الأكبر.

  • تقنيات الطحن والتلميع الأمثل: الطحن والتلميع أمران ضروريان لدقة الشكل السطح المرآة. على مدار نصف القرن الماضي ، تطورت تقنيات المرايا الهزلية ذات الفتحة الكبيرة:

    • يتم استبدال الطحن التقليدي بطحن CNC ، مما يتيح إزالة المواد الدقيقة من خلال ممر الأدوات والضغط المتحكم فيه (على سبيل المثال ، السطح البصري الذي يسيطر عليه الكمبيوتر - CCOs).

    • تم اعتماد تقنيات التلميع الحتمية مثل اكتشاف شعاع أيون (IBF) والتشطيب المغناطيسي (MRF) على نطاق واسع:

      • يستخدم IBF عوارض أيون عالية الطاقة لإزالة المواد النانوية.

      • يستخدم MRF السائل المغناطيسي لتحسين خشونة السطح وأخطاء الشكل الصحيحة.

    • الجمع بين هذه التقنيات المتقدمة يعزز بشكل كبير دقة الشكل السطحي.

2. التحسينات في مقاييس السطح

  • خوارزميات الكشف عالية الدقة: لاختبار المكون البصري الكبير:

    • تحدد طريقة "التجزئة المزدوجة" بفعالية بقع الليزر مع اختلافات شدة كبيرة.

    • يوفر طريقة الرمادي Centroid استخلاص مستقر النقطه الوسطى.

    • يحدد التصنيف المستند إلى الميزات بقع الانعكاس السطحي.

    • تعمل هذه الخوارزميات على تحسين دقة القياس ، مما يوفر بيانات موثوقة لتصحيح السطح.

  • طرق المقاييس المتقدمة:

    • مسح طريقة الخماسي: يقيس المرايا المسطحة الكبيرة عن طريق مسح الخماسي والخسائر لاكتشاف اختلافات زاوية الميل. يتم تمثيل الشكل السطحي على أنه مزيج خطي من متعدد الحدود Zernike ، ويتم حله عبر المربعات الصغرى. يحقق 7.6nm دقة RMS. تم التحقق من طريقة Ritchey-Common (الفرق: 7.1nm RMS للمرآة 1.5m).

    • طريقة Ritchey-Common:

      • يتطلب المرايا المرجعية الكروية. يحلل أخطاء غريب الأطوار وإمالة عن طريق النمذجة البصرية.

      • تظهر المحاكاة للمرايا 2M: مع وجود الفتحة (5 ٪ من الفتحة والإمالة <1 ° في غضون 11 درجة -30 درجة ، نطاق زاوية Ritchey ، خطأ استرداد السطح هو ~ 10⁻⁻λ RMS.

      • حقق التطبيق العملي 0.0238λ RMS و 0.1629λ PV للمرآة φ2m (λ = 632.8nm).

3. تحسين تصميم هيكل الدعم

  • هياكل الدعم ذات التحمل العالي: معالجة التدهور الناجم عن الإجهاد:

    • مثال: مرآة فضائية عالية الدقة 1.5 متر (مادة RB-SIC) مع تصميم خفيفة الوزن الفتحة الخلفية الثلاثي وتركيبات الثني ثلاث نقاط.

    • تم تحسينه باستخدام برنامج ISIGHT لتقليل تغيير RMS تحت سيناريوهات خطأ التجميع 9 (خطأ 0.01 مم).

    • نتائج:

      • نسبة الوزن الخفيفة: 82.1 ٪ (الكتلة: 170.23 كجم)

      • 1G الجاذبية: <0.016λ RMS

      • 0.02 مم النزوح القسري: 0.016λ RMS

      • 20 ℃ ± 5 ℃: ΔRMS <0.002λ

      • التردد الطبيعي الأول: 101.3Hz

  • التخفيف من تأثير لاصق:

    • معالجة لاصق على غرار الانكماش باستخدام FEM الحمل الحراري. الآثار التي تم تحليلها لحجم لاصقة ، الموقع ، التوزيع ، والمعلمات.

    • التصميم الأمثل للمرآة المستطيلة:

      • ست حلقات لاصقة مرنة مثبتة على جانب

      • توزيع غير موحد غير موحدة

      • مادة لاصقة: Ø10mm × 0.1mm سماكة

      • النتيجة: PV = 53.26nm ، RMS = 10.98nm ، Max الإجهاد = 0.04mpa

    • انخفض الإطار المحسّن من طوبولوجيا الوزن بنسبة 62.12 ٪ (7.93 كجم).

4. تقليل آثار الاهتزازات الصغيرة البيئية
مع تزايد المستشعرات عن بُعد الفضاء في الفتحة والتصميم الخفيف ، تتناقص تصلب المرآة ، مما يجعل الأشكال السطحية عرضة للخلايا الصغيرة (على سبيل المثال ، من محركات السائر ، عجلات التفاعل ، أصحاب الصلاحية).

  • طريقة تحليل الاستجابة الديناميكية:

    • يجمع بين التراكب المشروط وتركيب الحدود الحدود Zernike.

    • يعبر عن كل شكل وضع كمزيج خطي من متعدد الحدود Zernike.

    • يحسب خطأ السطح الديناميكي العام عبر تراكب مشروط.

    • يحلل الانحرافات البصرية من الألياف الدقيقة عبر معاملات Zernike.

  • يتيح التخفيف المستهدف للأخطاء السطحية الناجمة عن الاهتزاز لتحسين دقة التصوير.